កញ្ចក់ឆ្លុះប្រភេទ Carmanhaas ឬឧបករណ៍ឆ្លុះបញ្ចាំងសរុបត្រូវបានប្រើក្នុងបែហោងធ្មែញឡាស៊ែរដែលជាការឆ្លុះបញ្ចាំងខាងក្រោយនិងកញ្ចក់កញ្ចក់និងខាងក្រៅដែលមានធ្នឹមធ្នឹមនៅក្នុងប្រព័ន្ធចែកចាយធ្នឹម។
Silicon គឺជាស្រទាប់កញ្ចក់កញ្ចក់ដែលត្រូវបានប្រើជាទូទៅបំផុត។ គុណសម្បត្តិរបស់វាមានតម្លៃទាបធន់នឹងភាពធន់និងស្ថេរភាពកម្ដៅ។
កញ្ចក់ម៉ុលប៊ិនមផ្ទៃដ៏តឹងរឹងធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់បរិស្ថានរាងកាយដែលទាមទារច្រើនបំផុត។ កញ្ចក់ MO ជាធម្មតាត្រូវបានផ្តល់ជូនដោយមិនចាំបាច់។
| លក្ខណៈពិសេស | ស្ដង់ដារ |
| ការអត់ធ្មត់វិមាត្រ | +0.000 "/ -0.00.00.005" |
| ការអត់ឱនក្រាស់ | ± 0.010 " |
| Parallelism: (Plano) | ≤ 3 នាទីធ្នូ |
| aperture ច្បាស់ (ប៉ូលា) | 90% នៃអង្កត់ផ្ចិត |
| រូបភាពលើផ្ទៃ @ 0.63um | ថាមពល: 2 ហ្វ្រង់ទឹកភាពមិនប្រក្រតី: គែម 1 |
| កោស | 10-5 |
| ឈ្មោះផលិតផល | អង្កត់ផ្ចិត (មម) | et (MM) | រសតាប់ |
| កញ្ចក់ម៉ូ | 30 | 3/6 | គ្មានថ្នាំកូតទេអូអាយអាយ: 45 ° |
| 50.8 | 5.08 | ||
| កញ្ចក់ស៊ីលីកុន | 30 | 3/4 | hr @ 106um, AOI: 45 ° |
| 38.1 | 4/8 | ||
| 50.8 | 9.525 |
